Tetrakis(dimethylamino)titan - LinkFang.de





Tetrakis(dimethylamino)titan


Strukturformel
Keine Zeichnung vorhanden
Allgemeines
Name Tetrakis(dimethylamino)titan
Andere Namen

TDMAT

Summenformel C8H24N4Ti
CAS-Nummer 3275-24-9
PubChem 123185
Kurzbeschreibung

hellgelbe Flüssigkeit[1] mit fischigem Geruch [2]

Eigenschaften
Molare Masse 224,17 g·mol−1
Aggregatzustand

flüssig

Dichte

0,96 g·cm−3 (bei 20 °C)[1]

Schmelzpunkt

<4 °C[1]

Siedepunkt

50 °C (38 hPa)[1]

Dampfdruck

13 Pa (25 °C) [2]

Löslichkeit

reagiert mit Wasser[1]

Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung [3]

Gefahr

H- und P-Sätze H: 225​‐​260​‐​314
P: 210​‐​223​‐​231+232​‐​280​‐​370+378​‐​422 [3]
EU-Gefahrstoffkennzeichnung [4][3]
Leicht-
entzündlich
Ätzend
(F) (C)
R- und S-Sätze R: 11​‐​14​‐​34
S: 16​‐​26​‐​30​‐​36/37/39​‐​45
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.
Vorlage:Infobox Chemikalie/Summenformelsuche vorhanden

Tetrakis(dimethylamino)titan (TDMAT) ist eine chemische Verbindung, die z. B. bei der Halbleiterherstellung mit der metallorganischen chemische Gasphasenabscheidung (englisch metal organic chemical vapour deposition, MOCVD) eingesetzt wird. Formal ist es das Tetrakis(dimethylamid) der Orthotitansäure mit der Konstitutionsformel [(CH3)2N]4Ti. Es lässt sich durch Umsetzung von Titan(IV)-chlorid mit Lithiumdimethylamid herstellen.[5]

Eigenschaften und Sicherheitshinweise

Die brennbare Substanz besitzt einen fischartigen Geruch[2] und ist wegen des niedrigen Flammpunktes (je nach Quelle zwischen −30 °C[3] und 87 °C[2]) leicht entzündlich. Mit Wasser – schon aus der Luft – zersetzt sich TDMAT unter heftiger Reaktion.[1]

Beim Einatmen der Substanz wirkt diese extrem schädigend auf Atemwege, beim Kontakt mit Haut und Augen ätzend. Daneben können Symptome wie Husten, Atemnot, Kopfschmerzen, Übelkeit und Erbrechen auftreten.[3][6]

Verwendung

TDMAT wird in der Methode der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) als gasförmiges Edukt eingesetzt. Während der Reaktion bildet sich auf einem Substrat der gewünschte, extrem harte Überzug aus Titannitrid (TiN). Der Vorteil gegenüber anderen Edukten wie Titan(IV)-chlorid (TiCl4) liegt in der Möglichkeit, die Reaktionstemperatur auf ~ 450 °C zu reduzieren, während bei TiCl4 Temperaturen > 900 °C benötigt werden.[7]

Einzelnachweise

  1. 1,0 1,1 1,2 1,3 1,4 1,5 Datenblatt Tetrakis(dimethylamino)titan bei AlfaAesar, abgerufen am 14. März 2010 (JavaScript erforderlich).
  2. 2,0 2,1 2,2 2,3 gelest.com: Sicherheitsdatenblatt (MSDS) (PDF; 82 kB)
  3. 3,0 3,1 3,2 3,3 3,4 Datenblatt Tetrakis(dimethylamido)titanium(IV) bei Sigma-Aldrich, abgerufen am 24. April 2011 (PDF ).
  4. Für Stoffe ist seit dem 1. Dezember 2012, für Gemische seit dem 1. Juni 2015 nur noch die GHS-Gefahrstoffkennzeichnung gültig. Die EU-Gefahrstoffkennzeichnung ist daher nur noch auf Gebinden zulässig, welche vor diesen Daten in Verkehr gebracht wurden.
  5. Patent EP0476671 : Homogeneous catalysts and olefin polymerization process. Veröffentlicht am 25. März 1992, Erfinder: J. G. Hefner, B. W. Kolthammer, D. R. Gifford.
  6. Sicherheitsdatenblatt (MSDS) . Praxair (PDF, englisch; 52 kB).
  7. M. Meyyappan, D. J. Economou, S. Watts Butler: Proceedings of the Symposium Om Process Control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing. The Electrochemical Society, 1995, ISBN 978-1-56677-096-5, S. 399ff.

Kategorien: Titanverbindung | Amin | Ätzender Stoff | Feuergefährlicher Stoff

Quelle: Wikipedia - http://de.wikipedia.org/wiki/Tetrakis(dimethylamino)titan (Vollständige Liste der Autoren des Textes [Versionsgeschichte])    Lizenz: CC-by-sa-3.0

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