Augerelektronenspektroskopie - LinkFang.de





Augerelektronenspektroskopie


Die Augerelektronenspektroskopie [oʒe-] (AES, nach Pierre Auger) ist eine spektroskopische Methode zur hochempfindlichen und zerstörungsfreien Untersuchung der chemischen Zusammensetzung einer Materialoberfläche. Sie beruht auf dem Auger-Effekt, durch den ein Atom, das in geeigneter Weise angeregt wurde, ein Elektron mit einer bestimmten, je nach chemischem Element verschiedenen kinetischen Energie aussendet.

Bei der Augerelektronenspektroskopie wird das Energiespektrum der Elektronen aufgenommen, die beim Beschuss einer Oberfläche mit einem Elektronen-, Röntgen- oder UV-Strahl mit Energien bis zu einigen Kiloelektronvolt freigesetzt werden. Die Strahlung erzeugt die für den Auger-Effekt nötigen Lochzustände. Die Auger-Elektronen eines bestimmten Übergangs machen sich durch einen Peak im Spektrum bemerkbar, dessen Energie eindeutig auf die Ordnungszahl des emittierenden Atoms schließen lässt.

Die Augerelektronenspektroskopie ist aufgrund der geringen Reichweite von Elektronen im relevanten Energiebereich (ca. 50 eV bis 3 keV) eine sehr oberflächenspezifische Methode. Die erfasste Materialschicht umfasst typischerweise nur die obersten zehn Atomlagen. Das Verfahren kann daher sehr effizient zur örtlich hochauflösenden (0,01 µm bis 100 µm) Detektierung von Verunreinigungen benutzt werden. Die Nachweisgrenze der Augerelektronenspektroskopie liegt bei ca. 0,01–0,1 at%. Erst ab diesem Wert lässt sich der AES-Peak auswerten. Soll dagegen wirklich das reine Material erfasst werden und nicht unabsichtlich aufgebrachte Verunreinigungen, die bei der Probenpräparation entstanden sind, so müssen diese zum Beispiel durch Sputtern mit Argon entfernt werden.

Mit einem Augerelektronenspektroskop können auch Bilder von der Art eines Rasterelektronenmikroskops (REM) erzeugt werden. Hierfür ist ein Sekundärelektronendetektor nötig, der die Sekundärelektronen in ein REM-Bild umwandelt. So lässt sich eine vergleichbare Auflösung wie bei einem „gewöhnlichen“ REM erzielen. Neben dieser Funktion kann man zur Bilderstellung auch noch den AES-Detektor nutzen. So lassen sich Bilder aufnehmen, die eine Materialinformation tragen. Dieses Verfahren nennt sich Raster-Augerelektronenmikroskopie (engl. scanning Auger microscopy, SAM).

Bei der Photoelektronenspektroskopie treten aus der mit Ultraviolett- oder Röntgenstrahlung bestrahlten Oberfläche außer den Photoelektronen auch Auger-Elektronen aus. Dadurch werden in den Energiespektren zusätzliche „Auger-Peaks“ verursacht. Diese unterscheiden sich von den „Photopeaks“ dadurch, dass ihre Energie nicht mit der Energie der eingestrahlten Photonen variiert.

Siehe auch

Weblinks


Kategorien: Atomspektroskopie | Atomphysik | Oberflächenphysik

Quelle: Wikipedia - http://de.wikipedia.org/wiki/Augerelektronenspektroskopie (Vollständige Liste der Autoren des Textes [Versionsgeschichte])    Lizenz: CC-by-sa-3.0

Änderungen: Alle Bilder mit den meisten Bildunterschriften wurden entfernt. Ebenso alle zu nicht-existierenden Artikeln/Kategorien gehenden internen Wikipedia-Links (Bsp. Portal-Links, Redlinks, Bearbeiten-Links). Entfernung von Navigationsframes, Geo & Normdaten, Mediadateien, gesprochene Versionen, z.T. ID&Class-Namen, Style von Div-Containern, Metadaten, Vorlagen, wie lesenwerte Artikel. Ansonsten sind keine Inhaltsänderungen vorgenommen worden. Weiterhin kann es durch die maschinelle Bearbeitung des Inhalts zu Fehlern gerade in der Darstellung kommen. Darum würden wir jeden Besucher unserer Seite darum bitten uns diese Fehler über den Support mittels einer Nachricht mit Link zu melden. Vielen Dank!

Stand der Informationen: August 201& - Wichtiger Hinweis: Da die Inhalte maschinell von Wikipedia übernommen wurden, ist eine manuelle Überprüfung nicht möglich. Somit garantiert LinkFang.de nicht die Richtigkeit und Aktualität der übernommenen Inhalte. Sollten die Informationen mittlerweile fehlerhaft sein, bitten wir Sie darum uns per Support oder E-Mail zu kontaktieren. Wir werden uns dann innerhalb von spätestens 10 Tagen um Ihr Anliegen kümmern. Auch ohne Anliegen erfolgt mindestens alle drei Monate ein Update der gesamten Inhalte.